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针对基于直线电机的精密运动平台轨迹跟踪控制问题，基于零相位误差跟踪控制器(ZPETC)和干扰观测器(DOB)提出了一种跟踪控制方法，以提高精密运动平台的干扰抑制能力和轨迹跟踪性能。给出了永磁直线电机和运动平台数学模型。ZPETC是一种前馈控制器，通过零极点对消实现误差抑制，可以提高系统的响应速度和跟踪性能，降低系统动态跟踪误差；而干扰观测器则可以补偿系统参数变化、模型不确定、外部扰动、机械非线性等，提高了系统抗干扰能力。实验结果表明：所述方法不仅能够确保系统跟踪性能而且具有较强的鲁棒性，从而改善了运动平台