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本文报道了采用不同方法对Lan-826缓蚀剂成分进行分离剖析,结果表明,在Lan-826中至少含有11种物质。分析结果与设计差别很大,有些组分已经完全或部分转变成了别的物质,说明在Lan-826制备过程中发生了复杂的化学变化。
Lan-826缓蚀剂剖析
【摘 要】
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本文报道了采用不同方法对Lan-826缓蚀剂成分进行分离剖析,结果表明,在Lan-826中至少含有11种物质。分析结果与设计差别很大,有些组分已经完全或部分转变成了别的物质,说明在
【出 处】
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化学清洗
【发表日期】
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1989年S1期
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