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根据金属的Ｐｄ的自催化特性，采用改进的ＰＣＤ法制备致密超薄钯膜，同时考察了氢分压和操作温度对钯膜氢渗透性能的影响以及氢渗透过程扣操作稳定性，结果发现，对金属层厚度为０．３－０．４μｍ的超薄Ｐｄ／ＴｉＯ２复合膜，７７３Ｋ时的氢渗透性为６．３＊１０＾－６ｍｏｌ．ｍ＾－２．ｓ＾－１．Ｐａ＾－１，Ｈ２／Ｎ２的分离系数为１１４０左右。氢渗透超薄钯膜的稳定时间为８０ｈ左右，而且钯膜的氢渗透速率在６７３－７７３