【摘 要】
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精密定位平台由于机械摩擦造成精度受限，难以满足大行程、高精度定位的运动要求。本文结合宏微复合结构，提出了一种单驱动刚柔耦合定位平台。相对于现有的宏微复合平台，大幅简化了机械结构和运动控制系统的设计。基于浮动坐标法和有限元法建立了单驱动刚柔耦合定位平台的静力学和动力学模型，并与商业软件ABAQUS及简化解析模型的分析结果进行对比，最大相对误差分别为1.6%和3.72%，证明了该理论模型具有较高的预测
【机 构】
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广东工业大学省部共建精密电子制造技术与装备国家重点实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金项目（51875108，51905107）； 广东省自然科学基金项目（2019A1515012）；
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精密定位平台由于机械摩擦造成精度受限，难以满足大行程、高精度定位的运动要求。本文结合宏微复合结构，提出了一种单驱动刚柔耦合定位平台。相对于现有的宏微复合平台，大幅简化了机械结构和运动控制系统的设计。基于浮动坐标法和有限元法建立了单驱动刚柔耦合定位平台的静力学和动力学模型，并与商业软件ABAQUS及简化解析模型的分析结果进行对比，最大相对误差分别为1.6%和3.72%，证明了该理论模型具有较高的预测精度，可为刚柔耦合平台的优化设计及精密运动控制提供参考。
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