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本文研究了高压二氧化碳电镀钴薄膜颗粒形貌的影响。实验高压二氧化碳分别为液态（（15 MPa,25℃）,亚临界态（（15 MPa,30℃）,超临界态（（15 MPa,40℃）。高压二氧化碳电镀在高压釜中进行电镀,电镀液使用20%体积分数的高压二氧化碳和80%体积分数的钴电镀液。本文同时研究了温度和电流密度的影响。钴薄膜颗粒形貌随着温度的下降和电流密度的上升由片状转变为棱锥状以及半球状结构。