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采用JY-38Ⅱ等离子光谱仪直接测定纯度99.5％～99.995％的氧化钇中的14个稀土杂质。试验考查了氧化钇基体、酸度、特别是共存元素的干扰影响,利用正交试验L<sub>16</sub>（4<sup>5</sup>）确定了仪器最佳条件。测定结果的相对标准偏差均小于5.0％,回收率在98.0％～108.0％之间。方法具有快速、简便及测定范围宽的特点,在实际应用中获得满意结果。