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采用分子束外延在3英寸Ge（211）衬底上生长了10gm厚的CdTe（211）B薄膜。CdTe表面镜面光亮，3英寸范围厚度平均值9．72μm，偏差0.3μm；薄膜晶体质量通过X射线双晶迪摆曲线进行评价，FWHM平均值80．23arcsec，偏差3．03arcsec；EPD平均值为4．5×10^6cm^-2。通过研究CdTe薄膜厚度与FWHM和EPD的关系，得到CdTe的理想厚度为8～9μm。