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采用超音速微粒轰击（SFPB）技术对0Cr18Ni9钢进行表面纳米化；利用金相显微镜（OM）、X-射线衍射仪（XRD）、扫描电镜（SEM）和透射电镜（TEM）研究表层的组织结构变化，并进行了显微硬度测试分析。结果表明，经SFPB处理后，形成了约30μm厚的纳米层，样品表层发生应变诱导马氏体相变；孪晶形变是0Cr18Ni9钢表面纳米化过程的主要变形方式；表面纳米化是品粒细化与马氏体相变共同作用的结果，与基体相比，SFPB处理后材料的表层硬度显著提高。