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采用脉冲激光淀积技术，在（００１）取向的ＳｉＯ２衬底上制备了ＬｉＮｂＯ３薄膜。为了防止淀积过程缺氧，往淀积腔内充入１０￣１５Ｐａ的流动氧气，淀积速度０．３￣１．０ｎｍ／ｍｉｎ，淀积时间１ｈ，淀积结束后，充入０．６Ｐａ的氧气，在６５０℃保温０．５ｈ。采用ｘ射线衍射和扫描电镜对ＬｉＮｂＯ３薄膜的微观结构及表面形貌进行了检测。结果表明：ＬｉＮｂＯ３薄膜具有（０１２），（０２４）典型的ＬｉＮｂＯ３粉末晶体