(001)SiO2衬底上LiNbO3光波导薄膜的制备

来源 :南京航空航天大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fengljx1
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采用脉冲激光淀积技术,在(001)取向的SiO2衬底上制备了LiNbO3薄膜。为了防止淀积过程缺氧,往淀积腔内充入10 ̄15Pa的流动氧气,淀积速度0.3 ̄1.0nm/min,淀积时间1h,淀积结束后,充入0.6Pa的氧气,在650℃保温0.5h。采用x射线衍射和扫描电镜对LiNbO3薄膜的微观结构及表面形貌进行了检测。结果表明:LiNbO3薄膜具有(012),(024)典型的LiNbO3粉末晶体
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