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通过TEM和HRTEM对比研究了软磁层厚度为2．5nm的Nd2Fe14B／α—Fe型多层膜的显微结构．结果表明，在退火前的多层膜中Fe层为多晶，硬磁相以非晶的状态存在；在600℃以上退火后软磁层消失，生成的Nd2Fe14B型相被固定在硬磁层内；625℃退火后发现有Nd2Fe17相在硬磁层中析出，表明在多层膜退火过程中，退火温度对相转变的影响比退火时间的影响更大．Nd2Fe17相的析出可能是高温退火后磁性能下降的主要原因．