【摘 要】
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电子背散射衍射(EBSD)技术在材料晶体结构及取向信息的研究方面作出很大贡献,但其空间分辨率较低,在纳米晶体表征方面遇到困难.透射菊池衍射(TKD)技术自2012年提出以来,因其较高的空间分辨率,迅速在纳米材料表征领域受到极大关注.本文通过查阅总结大量文献,回顾了TKD技术的发展历程,并对其研究进展进行了总结.其中主要包括三大部分,首先介绍了TKD的工作原理及部分重要设置参数的影响.其次介绍了TKD近几年在纳米晶粒、大变形量金属以及氧化物薄膜等领域的应用.最后对TKD表征技术在未来的发展趋势进行了展望.
【机 构】
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北京工业大学材料科学与工程学院 北京100124;中国科学院电工研究所 北京 100190
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电子背散射衍射(EBSD)技术在材料晶体结构及取向信息的研究方面作出很大贡献,但其空间分辨率较低,在纳米晶体表征方面遇到困难.透射菊池衍射(TKD)技术自2012年提出以来,因其较高的空间分辨率,迅速在纳米材料表征领域受到极大关注.本文通过查阅总结大量文献,回顾了TKD技术的发展历程,并对其研究进展进行了总结.其中主要包括三大部分,首先介绍了TKD的工作原理及部分重要设置参数的影响.其次介绍了TKD近几年在纳米晶粒、大变形量金属以及氧化物薄膜等领域的应用.最后对TKD表征技术在未来的发展趋势进行了展望.
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