颗粒硅带上薄膜太阳电池的研究

来源 :北京师范大学学报:自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户:bright_123456789
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采用颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达6.36%的薄膜太阳电池.对衬底特性、电池制作工艺、存在问题及进一步的研究方向做了探讨.
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