快速热化学气相沉积相关论文
本文分析了以颗粒硅带为衬底的多晶硅薄膜太阳电池研究的可行性和必要性,并以颗粒硅带为衬底,采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法生......
该文对颗粒带硅(SSP)衬底上利用快速热化学气相沉积(RTCVD)制备多晶硅薄膜太阳电池作了探讨。在此基础上，获得了转换效率为2.93℅的......
该文主要研究了用高温化学汽相沉积(CVD)方法制备晶体硅薄膜电池的工艺生长、工艺优化等技术.主要工作包括三个部分:1)在非活性重......
本文对快速热化学气相沉积法(RTCVD)制备在石英衬底、单晶硅片和多晶硅带上的多晶硅薄膜的电学性质进行了研究。在实验方面，我们用......
报道了快速热化学气相沉积(RTCVD)工艺制备多晶硅(poly-si)薄膜及电池的实验和结果.采用SiH2CL2作为原料气体,衬底温度为1030℃时,......
选用Al2O3陶瓷作为衬底,采用快速热化学法沉积多晶硅薄膜.实验研究了温度对薄膜生长的影响,结果表明,硅层的沉积速率随着温度升高......
采用颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达6.36%的薄膜太阳电池.对衬底特......
该文研究了氮化硼、三氧化二铝、氧化锆陶瓷以及石英和微晶云母等衬底上多晶硅薄膜的一般生长规律和区熔再结晶.实验发现,在氮化硼......
以工业硅粉为原料制备出颗粒硅带(SSP),对颗粒硅带表面形态进行分析.以SSP为衬底,采用快速热化学气相沉积(RTCVD)法生长多晶硅薄膜......
采用廉价国产硅粉拉制的低纯度颗粒硅带(SSP)作为衬底,利用快速热化学气相沉积(RTCVD)方法外延多晶硅薄膜并制作了转换效率达4.5%......
近年来，随着可持续发展，环境保护等观念的深入人心，以及常规化石能源的日渐枯竭，太阳电池研究的主要任务转到了如何成为替代能源的方向......
本文主要研究了低成本衬底上薄膜的生长以及薄膜太阳电池的制备。本文的主要工作包括三个部分：首先是在模拟低成本衬底（非活性重掺杂......
为了降低成本,加快太阳电池的产业化进程,发展薄膜太阳电池是光伏界研究的热点。本文主要研究陶瓷衬底上多晶硅薄膜太阳电池的制备......
