【摘 要】
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采用磁控溅射仪,分别在硅和玻璃衬底上,制备纯ZnO薄膜及掺Mg浓度分别为0.05％、0.25％、0.5％、1.0％的ZnO/ZnMgO异质结薄膜.采用SEM、XRD和光谱仪对薄膜样品的表面形貌、微观结构、
【机 构】
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陕西省表面工程与再制造重点实验室西安文理学院 西安 710065;机械与材料工程学院西安文理学院 西安 710065
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采用磁控溅射仪,分别在硅和玻璃衬底上,制备纯ZnO薄膜及掺Mg浓度分别为0.05％、0.25％、0.5％、1.0％的ZnO/ZnMgO异质结薄膜.采用SEM、XRD和光谱仪对薄膜样品的表面形貌、微观结构、透反射率及拉曼特性进行表征.研究结果表明:(1)相比于玻璃衬底,ZnO薄膜更易于在硅衬底衬底上生长,在硅衬底上生长的薄膜更加致密均匀,结晶度更好;(2)相比于掺杂的ZnO/ZnMgO异质结薄膜,单层的纯ZnO薄膜具有良好的致密性和平整的生长状态;(3)掺杂Mg会使薄膜表面变粗糙,对光的反射率降低,反射率的波动周期变短;(4)薄膜的拉曼光谱峰值不仅受到衬底材料的影响,同时还受掺杂浓度的影响.
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