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我们研制了一套以微电子光刻为应用背景的紧凑型高重复率、高性能、工作气体为氖气的等离子焦点装置（NX2）做为软X射线源。其储能电容由四组电容器组成。每一组又包括12个并联的0.6μF电容器，共用一个轨道式开关。充电电压为11.5kV时，其峰值电流可达400kA。该装置中采用水冷式电极与真空室设计，以16Hz重复率连续运行几分钟产生300W的软X射线。初步的光刻实验结果表明连续放电300次便可取得足够软X射线暴光量。