【摘 要】
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薄膜 (涂层 )同基体材料的力学性能有很大差异 ,同时 ,由于其厚度薄 ,且其与界面和基体材料间的交互作用影响其力学性能测试中应力、应变的分布与传递 ,常规的拉伸、冲击等方
【机 构】
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上海交通大学教育部高温材料与测试开放实验室!(200030),上海交通大学教育部高温材料与测试开放实验室!(200030),上海交通大学教育部高温材料与测试开放实验室!(200030),上海交通大学教
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薄膜 (涂层 )同基体材料的力学性能有很大差异 ,同时 ,由于其厚度薄 ,且其与界面和基体材料间的交互作用影响其力学性能测试中应力、应变的分布与传递 ,常规的拉伸、冲击等方法对其不再适用。列举了薄膜 (涂层 )硬度测试中的一些问题 ,着重讨论了基底和膜基界面、压头形状、隆起和凹陷现象、初始零位确定、弹性恢复以及表面粗糙度对薄膜(涂层 )硬度测试的影响 ,并提出了相应改进措施。结果表明 ,只有综合考虑各个影响因素 ,才能获得薄膜 (深层 )的本征硬度
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