PEMSIP法刀具TiN涂层技术

来源 :大连理工大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户:wofucyou4444
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PEMSIP法刀具TiN涂层技术等离子体增强磁控溅射离子镀(PEMSIP)TiN涂层技术是在磁控溅射离子镀(简称MSIP,中国发明专利,1988年国家发明二等奖)基础上研究出来的一种新型PVD刀具涂层技术。在MSIP设备中引进电子发射源和活化源,使其... PEMSIP tool TiN coating technology Plasma enhanced magnetron sputtering ion plating (PEMSIP) TiN coating technology is based on the magnetron sputtering ion plating (referred to as MSIP, China’s invention patents, the 1988 National Invention Award) on the basis of A new PVD tool coating technology. Introducing electron emission sources and activation sources in MSIP equipment to ...
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