LC—2B型离子注入机的束流光学验算与分析

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近年来,束流光学方法已被广泛应用于离子注入机的光路设计中。LC-2B型离子注入机是十多年前基于成象光学方法设计的。我们准备用束流光学方法从两方面对它进行验算与分析。 In recent years, the beam optical method has been widely used in the optical design of ion implanters. The LC-2B ion implanter is based on imaging optics more than a decade ago. We are ready to use beam optical method to check and analyze it from two aspects.
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