影响CVD金刚石断裂强度的因素

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按照Griffith徽裂纹理论,讨论了影响CVD金刚石断裂强度的因素。结果表明,较高的生长温度,较低的生长速率,较小的晶粒尺寸,较少的微砚缺陷,较高的金刚石纯度,可以提高CVD金刚石的断裂强度。
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