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化学量传感器：第四讲 离子敏场效应器件及其应用

来源 :传感器技术 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ysq2009123

【摘 要】

：

<正> 随着ISFET的有关研究日益深化及器件稳定性、可靠性的不断提高,在越来越多的场合下可以用其取代传统的离子选择电极(ISE),同时由于其小型、快速的特点,又开辟了许多新的

【作 者】

：

武世香 虞惇 

【出 处】

：

传感器技术

【发表日期】

：

1991年2期

【关键词】

：

化学量传感器 离子 场效应器件 

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<正> 随着ISFET的有关研究日益深化及器件稳定性、可靠性的不断提高,在越来越多的场合下可以用其取代传统的离子选择电极(ISE),同时由于其小型、快速的特点,又开辟了许多新的应用领域。随之对ISFET的封装结构也提出了多方面的要求。从实用化、商品化的角度来看,不仅要求封装结构必须保证器件良好的密封

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