【摘 要】
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1 导言电离规测量压力范围的下限主要取决于三个因素 :软 X射线效应 ,电子激励解吸效应和量规中的出气效应。为减少此三个因素的作用 ,业已研制出多种类型的电离规。其中 ,
【机 构】
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ULVAC股份有限公司,ULVAC股份有限公司,ULVAC股份有限公司,ULVAC股份有限公司
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1 导言电离规测量压力范围的下限主要取决于三个因素 :软 X射线效应 ,电子激励解吸效应和量规中的出气效应。为减少此三个因素的作用 ,业已研制出多种类型的电离规。其中 ,装有能量分析仪的电离规在从电子激励解吸的离子中把气相离子分离开方面具有许多优点。同时该分析仪的结
1 Introduction The lower limit of the ionization gauge measurement pressure range depends mainly on three factors: the soft X-ray effect, the electron-induced desorption effect, and the out-gassing effect in the gauge. To reduce the effect of these three factors, many types of ionization gauges have been developed. Among them, the ionization gauge equipped with an energy analyzer has many advantages in separating gas phase ions from electronically excited desorbed ions. At the same time the analyzer’s knot
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