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采用直流辉光放电辅助PLD（脉冲激光沉积）法制备了CN，涂层，通过正交试验研究了气压、激光通量、放电功率密度和靶基距等工艺参数对cNx涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响，利用扫描电镜（SEM）、X射线光电子能谱仪（XPS）和球-盘式微型摩擦仪对涂层的表面形貌、化学成分以及摩擦学特性进行了表征。结果表明，辉光放电辅助PLD制备的cM涂层比传统PLD涂层光滑，且工艺参数对涂层表面形貌的影响较小。激光通量对涂层的氮含量、摩擦因数和磨损率的影响较为显著，放电功率密度的影响最小。涂层的耐磨性随涂层氮含量的升高而降