【摘 要】
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掺杂有利于提高单晶硅纳米材料的力学性能.本文主要通过分子动力学方法研究了掺杂浓度和尺寸对纳米单晶硅梁谐振频率的影响,结果表明：谐振频率随着单晶硅纳米梁掺杂浓度的增大
【基金项目】
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国家自然科学基金（11064014）.
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掺杂有利于提高单晶硅纳米材料的力学性能.本文主要通过分子动力学方法研究了掺杂浓度和尺寸对纳米单晶硅梁谐振频率的影响,结果表明：谐振频率随着单晶硅纳米梁掺杂浓度的增大而增大,但值变化很小,对梁的谐振频率影响并不明显;同时,谐振频率随着单晶硅纳米梁长度尺寸的增大而减小,随着单晶硅纳米梁厚度尺寸的增大而增大.由此可以得出结论：掺杂浓度会影响纳米单晶硅梁的谐振频率,但是影响较小,而影响其谐振频率的主要因素是纳米单晶硅梁的尺寸.
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