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在北京同步辐射装置上，通过对应用于惯性约束聚变（ICF）实验的平面镜反射率的进一步研究，提高了辐射温度的测量精度。进行了对软X射线平面镜反射率的测量、反射镜的清洗、反射率的模拟计算，证明影响反射率变化的主要因素是平面镜的安装角度和沾污。实验结果表明：平面镜的沾污主要来源于ICF实验中的油沾污，采用射频辉光放电清洗非常有效。