【摘 要】
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采用反应射频磁控溅射技术在（0001）蓝宝石基片上制备了不同调制结构的（GDC/YSZ）12多层氧离子导体电解质薄膜。利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m（Zr）：m（Y）=5.73：1、m（Ce）：m
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目（50502010）
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采用反应射频磁控溅射技术在（0001）蓝宝石基片上制备了不同调制结构的（GDC/YSZ）12多层氧离子导体电解质薄膜。利用电子探针微区分析技术测得薄膜的摩尔质量比为m（Zr）：m（Y）=5.73：1、m（Ce）：m（Gd）=4.12：1;X射线衍射（XRD）与小角X射线反射（XRR）结果表明,GDC/YSZ调制比为5：1、2：1和1：2的样品（A1～A3）具有好的超晶格结构,而A4样品未形成超晶格结构;原子力显微镜形貌分析结果表明多层膜呈密集岛状生长形貌,与GDC、YSZ单层膜比较,多层膜生长岛尺寸减小,
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