【摘 要】
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在3D NAND闪存的分布式编程擦除循环实验中发现,存储单元的保持特性随着编程擦除循环周期间隔的增加而改善.对实验数据的分析表明,编程擦除循环周期间隔中发生了损伤恢复,且
【机 构】
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中国科学院大学,北京 100049;中国科学院微电子研究所,北京 100029;长江存储科技有限责任公司,武汉430205;中国科学院微电子研究所,北京,100029
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在3D NAND闪存的分布式编程擦除循环实验中发现,存储单元的保持特性随着编程擦除循环周期间隔的增加而改善.对实验数据的分析表明,编程擦除循环周期间隔中发生了损伤恢复,且在损伤恢复的两个机制中,氧化层电荷选出对保持特性的改善起主要作用,而非界面陷阱修复.这说明,氧化层电荷选出对于3D NAND闪存的保持特性有着重要影响.此外还发现,由于连续的电荷存储层所导致的电荷横向散布,损伤恢复对3D NAND闪存保持特性的影响与存储单元的编程模式有关.综上,损伤恢复机制是影响3D NAND闪存保持特性的一个重要因素,需要在产品的可靠性表征中予以考虑.
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