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为减小自混合干涉信号预处理前后的相位改变及波形畸变,提高激光自混合干涉位移传感器的测量精度,提出零相位滤波方法对自混合干涉信号进行预处理。通过对基于零相位数字滤波器的自混合干涉信号预处理算法原理的研究,利用压电陶瓷对自混合干涉位移测量系统进行标定。实验结果表明:在进行全相位谱分析算法解调相位之前,采用零相位滤波方法对自混合干涉信号进行预处理,可将激光自混合干涉位移传感器的测量误差减小到3.4 nm。