高压绝缘α—Al2O3涂层的XPS和EELS表面分析

来源 :四川大学学报：自然科学版 | 被引量 : 0次 | 上传用户：up2hyolee

【摘要】

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用不同配方的Mn，Cr，Ti混合物涂复α-Al2O3绝缘瓷表面，在适当的条件下热处理，利用XPS和EELS测试分析了表面层的电子能态.发现在退火后各涂层成分的含量变化明显，由于配方元素不同程

【作者】

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郑家贵蒋立新蔡亚平罗四维周心明

【机构】

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四川大学材料科学系,中国工程物理研究院应用电子研究所

【出处】

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四川大学学报：自然科学版

【发表日期】

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2001年2期

【关键词】

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氧化铝绝缘瓷涂复热处理方法 XPS EELS 表面层电子能态二次电子发射系数高压绝缘涂层 α-Al2O3 insulator coating trea

【基金项目】

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中国物理研究院科研项目

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用不同配方的Mn，Cr，Ti混合物涂复α-Al2O3绝缘瓷表面，在适当的条件下热处理，利用XPS和EELS测试分析了表面层的电子能态.发现在退火后各涂层成分的含量变化明显，由于配方元素不同程度地扩散、渗透进95Al2O3陶瓷基底内，通过反应生成了新相；根据价带谱和EELS分析，其表面层的价带顶移向真空能级，使能隙减小；能隙中的缺陷态、杂质态及表面态增加，有利于内次级电子的非弹性跃迁和二次电子发射系数的减小.

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