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本文简要介绍了GaAs起高速数字集成电路(VHSIC)测试技术的国际发展水平。对比较法测试系统中阻抗匹配与高频时钟信号的传输特性展开了深入的讨论,并给出了典型的GaAs BFL门瞬态性能的测试结果。使用此系统测出的SZ系列四种GaAs BFL门电路产品通过了专家级定型鉴定,为国内首批定型的VHSIC。