【摘 要】
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本文研究了一种利用压阻原理检测相对湿度的传感器结构。改进了压阻结构,在压阻的拐弯处用Al引线代替浓硼掺杂,避免了拐弯处压阻的负压阻效应,提高了传感器的灵敏度。采用离
【基金项目】
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国家863项目资助(2006AA040104)
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本文研究了一种利用压阻原理检测相对湿度的传感器结构。改进了压阻结构,在压阻的拐弯处用Al引线代替浓硼掺杂,避免了拐弯处压阻的负压阻效应,提高了传感器的灵敏度。采用离子注入工艺制作压阻,使得硼掺杂更加均匀,提高了压阻的匹配度。对流水出来的传感器进行测试和分析,数据结果表明:在20℃时,传感器的灵敏度为0.236 mV/%RH,最大湿滞约为5%RH,传感器有较好的线性。
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