论文部分内容阅读
通过在硼扩散后增加一步800℃、5min的氧化工艺,使得硼扩散过程中产生的硼硅玻璃能够去除干净,在去除硼硅玻璃后的硅片上生长的氧化层厚度均匀、可控,有利于提高器件的光响应均匀性。
一种新型去除硼硅玻璃的方法
【摘 要】
：
通过在硼扩散后增加一步800℃、5min的氧化工艺,使得硼扩散过程中产生的硼硅玻璃能够去除干净,在去除硼硅玻璃后的硅片上生长的氧化层厚度均匀、可控,有利于提高器件的光响应
【机 构】
：
重庆光电技术研究所,
【出 处】
：
半导体光电
【发表日期】
：
2014年03期
其他文献
米非司酮是一种合成类固醇,具有较强的子宫内膜孕激素受体的亲和力,同时还具有终止早孕、促进宫颈成熟等作用。随着临床对米非司酮药理研究的不断深入,其临床应用的范围也在
对青岛市城阳区的21种园林植物进行了滞尘能力的测定。结果表明:不同树种的滞尘能力存在很大差异,其滞尘量能相差4倍以上;第一周滞尘量对总滞尘量的贡献最大;同一树种在不同
现代远程教育是在20世纪80至90年代随着计算机信息技术发展而兴起的新型教育形式,它的产生与发展给我国以传统教育为主的教育结构和教学方式带来了巨大的变革。与传统教育不
玫瑰是一种人们极其喜爱的观赏植物。简要介绍了古今中外玫瑰的种植和利用及玫瑰精油的功效情况;目前由于精油是玫瑰产业的主流,对精油提取方法和成分检测等方面的研究也进行
以采自陕西、甘肃的花椒疫霉病菌为试材,依据病原菌的菌落与繁殖体特征、rDNA-ITS及β?tubulin基因序列分析和致病性测定,研究该病菌的种类与分布,并对花椒疫霉菌拮抗菌进行
目的:探讨临床中抗感冒药的不良反应情况。方法:选取250例患者,均分为五组,分别服用阿司匹林、Vc银翘片、感冒清片、感康以及感冒冲剂,对不良反应出现情况进行对比。结果:阿
随着古镇旅游的兴起,腾冲和顺古镇的开发是继丽江束河古镇引进企业成功开发之后的又一成功案例。但是在开发之后的具体管理中,涉及腾冲和顺古镇经济利益的各相关主体如何和谐
和谐是人类的一种美好愿望和追求,我们目前正在构建的社会主义和谐社会,不仅包括人与自然、人与人、人与社会的和谐,还包括人自身的和谐,即人的身心和谐。“注重促进人的心理