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美国加利福尼亚大学劳伦斯利弗莫尔国家实验室物理学家所发展的一项新技术如获成功，那末激光制造微型集成电路的技术立即可以得到简化。这项新技术可以废除诸如掩模和光敏材料等许多制造微型集成电路所需要的器具。
激光加速集成电路的制造
【摘 要】
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美国加利福尼亚大学劳伦斯利弗莫尔国家实验室物理学家所发展的一项新技术如获成功，那末激光制造微型集成电路的技术立即可以得到简化。这项新技术可以废除诸如掩模和光敏材料等许多制造微型集成电路所需要的器具。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1984年21期
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