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介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计．利用体硅微机械加工工艺和硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计．为了有效减小低频噪声，在反馈回路里加入了振荡器和解调器．测试结果表明，目前样品的分辨率约为10-6g/√Hz，抗冲击能力达到50g．
一种新型的微机械电子隧穿加速度计
【摘 要】
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介绍了一种新型的微机械电子隧穿加速度计．利用体硅微机械加工工艺和硅/玻璃静电键合技术成功研制出了一种三明治结构的隧穿加速度计．为了有效减小低频噪声，在反馈回路里加入了
【机 构】
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东南大学微电子中心,河北半导体研究所
【出 处】
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东南大学学报
【发表日期】
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2004年期
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