【摘 要】
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本文叙述了对多弧离子镀膜机阴极弧源所做的实验研究，提出了如何降低靶极工作电流、提高靶材利用率、减小蒸发粒子的颗粒度以及提高成膜质量的方法。详细介绍了在我所研制的ＨＬＺ－７５０型
【机 构】
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机械电子工业部沈阳真空技术研究所,机械电子工业部沈阳真空技术研究所,机械电子工业部沈阳真空技术研究所 沈阳市 110042,沈阳市 110042,沈阳市 110042
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本文叙述了对多弧离子镀膜机阴极弧源所做的实验研究，提出了如何降低靶极工作电流、提高靶材利用率、减小蒸发粒子的颗粒度以及提高成膜质量的方法。详细介绍了在我所研制的ＨＬＺ－７５０型八个弧源的多弧离子镀膜机上所做的 ＴｉＮ超硬涂层及装饰涂层的工艺研究及实测结果。
This paper describes the experimental study on cathodic arc source of a multi-arc ion plating machine, and puts forward a method of how to reduce the working current of the target, increase the utilization of the target, reduce the particle size of the evaporated particles and improve the film quality. The process and results of TiN super-hard coating and decorative coating made by HLV-750 eight arc source multi-arc ion plating machine developed in this paper are introduced in detail.
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