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数字剪切波面干涉技术广泛用于波面测量和光学零件参数的检测中.本文介绍了数字剪切波面干涉技术的测量原理和一般处理算法,提出了基于待定系数法的一维剪切波面重建算法,对模拟的剪切干涉图和激光波面进行实例分析,表明所用方法具有较好的处理精度和实用价值.
利用待定系数法的一维剪切波面重建算法
【摘 要】
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数字剪切波面干涉技术广泛用于波面测量和光学零件参数的检测中.本文介绍了数字剪切波面干涉技术的测量原理和一般处理算法,提出了基于待定系数法的一维剪切波面重建算法,对
【机 构】
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上海大学精密机械工程系
【出 处】
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中国测试技术
【发表日期】
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2005年2期
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