【摘 要】
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外延设备是碳化硅产业链的重要设备之一，设备的控制系统直接决定了设备的优劣。设计与实现了一套碳化硅外延设备控制系统，详细介绍了外延设备控制系统总体设计、软硬件架构和各分系统关键技术。通过高内聚、低耦合，高度的模块化设计，实现端口、零件到模块的逐级封装，软件架构清晰。系统以倍福PLC为主控制器，集成串口RS232/485通讯、DeviceNet等通讯方式，完成信号采集、温度控制、压力、流量、功率等PI
【基金项目】
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季华实验室项目（编号：X210241TC210）；
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外延设备是碳化硅产业链的重要设备之一，设备的控制系统直接决定了设备的优劣。设计与实现了一套碳化硅外延设备控制系统，详细介绍了外延设备控制系统总体设计、软硬件架构和各分系统关键技术。通过高内聚、低耦合，高度的模块化设计，实现端口、零件到模块的逐级封装，软件架构清晰。系统以倍福PLC为主控制器，集成串口RS232/485通讯、DeviceNet等通讯方式，完成信号采集、温度控制、压力、流量、功率等PID控制。设备流量控制采用HORIBA的质量流量计（MFC）、温度控制采用MINI8温控仪、INFICON的薄膜规和压力计、JEL的真空机械臂等，实现了对碳化硅外延各项反应条件的精确调节和控制。控制系统操作界面友好、简单、可移植性强。经实际验证系统稳定、可靠，已生产出符合要求的外延片，达到工艺要求。
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