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1三大发展方向推动半导体技术进步从20世纪70年代起，通过追寻摩尔定律（Moore’s law），半导体行业的发展一直处于良性循环：业界通过缩小晶体管尺寸，提高产品性价比，为半导体市场带来指数级增长；而这又为技术发展带来更多投资并实现晶体管的进一步缩小（见图1）。国际半导体技术发展路线图（ITRS）即是在这一循环过程能够持续的假设下发展起来的，并成为半导体业界最为重要的技术参考标准。