【摘 要】
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介绍了一种压电微悬臂梁共振频率检测系统。压电材料沉积在微悬臂梁上,在压电层的上下电极之间施加交变电压使其振动,当微悬臂梁的振动频率等于它的固有频率时,发生共振,此时
【机 构】
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装备指挥技术学院士官系,天津大学精密测试技术及仪器国家重点试验室,军事科学院研究生院
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介绍了一种压电微悬臂梁共振频率检测系统。压电材料沉积在微悬臂梁上,在压电层的上下电极之间施加交变电压使其振动,当微悬臂梁的振动频率等于它的固有频率时,发生共振,此时微悬臂梁的振幅最大。结合所设计的激励电路以及微悬臂梁共振频率检测电路,对压电微悬臂梁进行了检测实验。实验结果表明,放大电路能够检测出压电微臂梁的共振频率,并且压电微悬臂梁达到共振时,共振频率附近振幅远大于其他频率对应的振幅,振幅最大值接近600nm。
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