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化学法增大铝箔表面阳极氧化膜介电常数的研究与进展
化学法增大铝箔表面阳极氧化膜介电常数的研究与进展
来源 :功能材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户:liongliong442
【摘 要】
:
目前通过电化学方法增大铝阳极箔的有效表面积已越来越困难,铝电解电容器的阳极箔正面临一场新的技术革新:形成高介电常数的复合氧化膜来提高铝氧化膜的比容.本文对形成复合
【作 者】
:
陈金菊
冯哲圣
郭红蕾
杨邦朝
【机 构】
:
电子科技大学微电子与固体电子学院
【出 处】
:
功能材料
【发表日期】
:
2005年12期
【关键词】
:
铝箔
电容量
复合氧化膜
阳极氧化
介电常数
aluminum foil
electric capacitance
composite oxide film
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目前通过电化学方法增大铝阳极箔的有效表面积已越来越困难,铝电解电容器的阳极箔正面临一场新的技术革新:形成高介电常数的复合氧化膜来提高铝氧化膜的比容.本文对形成复合氧化膜的化学方法,复合氧化膜的生长机理,当前研究热点及形成复合氧化膜技术的未来发展进行了综合评述.
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