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半导体结构愈来愈小的趋势已集中至以X射线光刻作为实现此目标的最有希望的技术上。虽然X射线光刻离实际生产使用还有好多年，但对此技术已进行了大量研究。在建立实用系统的竞争中，用激光产生X射线已成为领先的技术之一。
激光与X射线光刻竞争
【摘 要】
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半导体结构愈来愈小的趋势已集中至以X射线光刻作为实现此目标的最有希望的技术上。虽然X射线光刻离实际生产使用还有好多年，但对此技术已进行了大量研究。在建立实用系统的竞争中，用激光产生X射线已成为领先的技术之一。
【出 处】
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激光与光电子学进展
【发表日期】
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1986年23期
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