硅基AlN薄膜制备技术与测试分析

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：wkadjx

【摘要】

：

采用直流磁控反应溅射法，在Si(100)，Al／Si(100)和Pt／Ti／Si(100)等多种衬底上制备了用于MEMS器件的AIN薄膜．用XRD和AES对薄膜的结构和组分进行了分析，通过优化工艺参数，得到了提高薄膜

【作者】

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于毅任天令刘理天

【机构】

：

清华大学微电子学研究所

【出处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2005年1期

【关键词】

：

AlN薄膜直流磁控反应溅射择优取向半高宽

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采用直流磁控反应溅射法，在Si(100)，Al／Si(100)和Pt／Ti／Si(100)等多种衬底上制备了用于MEMS器件的AIN薄膜．用XRD和AES对薄膜的结构和组分进行了分析，通过优化工艺参数，得到了提高薄膜择优取向的方法，并分析了不同衬底上AIN晶粒生长的有关机理．制备的AIN薄膜显示出良好的<002>择优取向性，摇摆曲线的半高宽达到5．6°．

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