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提出了一种基于神经网络理论的微位移工作台控制方案。该工作台以压电陶瓷作为微位移驱动元件，对伺服电机大位移进行位移补偿。分析了压电陶瓷微位移驱动器的原理，建立了工作台的数学模型。神经网络PID控制器对工作台进行闭环控制，利用BP网络的自学习和自适应能力，实时调整网络加权值，改变PID控制器的控制系数．减小工作台的位移误差。采用专用的压电陶瓷驱动电源对工作台的位移进行了实验，相对于常规PID控制器，微位移为11．41μm时的响应时间从1．5s缩短到1s，稳态位移误差从3．13％减小到1．05％，工作台的稳定性