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在分析ESD失效机制的基础上，介绍了目前热击穿的研究情况，指出器件失效前所承受的功率与时间的关系对于研究热击穿的重要性；然后介绍了几个关于失效功率的热模型，分析了相关ESD模拟软件工具，提出一套有效的ESD模拟方法。
ESD电热模拟分析
【摘 要】
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在分析ESD失效机制的基础上，介绍了目前热击穿的研究情况，指出器件失效前所承受的功率与时间的关系对于研究热击穿的重要性；然后介绍了几个关于失效功率的热模型，分析了相关ESD模
【机 构】
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西安电子科技大学微电子学院,中国电子科技集团公司第五研究所分析中心
【出 处】
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半导体技术
【发表日期】
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2007年1期
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