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悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器－－微条气体室的探测气体。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度可控制在微米量级，因此能够得到非常好的空间分辨率，并具有抗辐射，低成本等独特优点。
悬空金属微条探头的制造
【摘 要】
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悬空金属微条是探测高能粒子和X射线的新型探测器－－微条气体室的探测气体。由微细加工制备的金属微条尺寸及其相互的位置精度可控制在微米量级，因此能够得到非常好的空间分辨率，
【机 构】
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中科院北京高能物理研究所
【出 处】
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微细加工技术
【发表日期】
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1996年4期
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