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硅材料是现代信息科技的主要载体，而其电化学研究则是正确认识和应用硅材料的前提和基础。从硅的表面和界面特性出发，综述了硅的电化学方面的研究进展，阐述了硅电极的阳极和阴极反应行为，总结了硅的刻蚀以及多孔硅的电化学形成机制和影响因素，并进一步展望了硅材料电化学研究的未来发展方向。
硅材料及其电化学研究进展
【摘 要】
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硅材料是现代信息科技的主要载体，而其电化学研究则是正确认识和应用硅材料的前提和基础。从硅的表面和界面特性出发，综述了硅的电化学方面的研究进展，阐述了硅电极的阳极和阴极
【机 构】
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中南大学资源加工与生物工程学院尤机材料系,有研半导体材料股份有限公司硅片制造事业部
【出 处】
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材料导报
【发表日期】
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2006年2期
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