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设计了一种MEMS（Microelectronic mechanical system）器件节点单元自动识别的方法，介绍了如何根据工艺和版图信息实现识别的过程，对图形学相关算法进行了详细论述。结合节点单元特征提炼了各种单元的识别规则，并基于此规则实现了具体的识别流程。详细讨论了识别过程中用到的二维图形学相关理论、算法。最后以多种常用MEMS器件为例进行了节点单元类型识别，均获得了正确的结果。