【摘 要】
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经过二十年的发展，SiGeHBT技术已经广泛应用于微波／射频通讯领域。它的快速发展首先得益于外延技术的提高，其次是它与硅工艺完全兼容，特别是与CMOS工艺兼容的特性，以及微波／射频通
【机 构】
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清华大学微电子学研究所,模拟集成电路国家重点实验室、中国电子科技集团公司第二十四研究所
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经过二十年的发展，SiGeHBT技术已经广泛应用于微波／射频通讯领域。它的快速发展首先得益于外延技术的提高，其次是它与硅工艺完全兼容，特别是与CMOS工艺兼容的特性，以及微波／射频通讯市场的巨大需求。文章简要回顾了SiGeHBT的发展过程，认为SiGe技术今后将成为混合信号通讯系统SOC集成的技术平台。
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