论文部分内容阅读
在不锈钢基体表面用离子束混合技术沉积SiC薄膜，然后用能量为5keV的H^＋对其辐照直至剂量达到1×10^18／cm^2，再用二次离子质谱分析（SIMS）分析H^＋在SiC薄膜中深度分布和正离子谱，研究薄膜的阻氢性能和阻氢机理；最后采用渗透实验对涂覆在不锈钢基体表面的SiC材料的氚渗透系数进行测试，对其阻氚性能进行验证。结果表明，在不锈钢基材表面涂覆的SiC薄膜具有良好的阻氢性能，可将氚的渗透率降低4个数量级以上，SiC薄膜的阻氢是由于氢与薄膜中的硅、碳悬挂键反应形成诸如C-H、C-H2、C—H