锰铜压力计的制作新工艺

来源 :高能量密度物理 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sheep1230_yuzt1984
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将用ACDSEE软件绘制的锰铜压力计图案在电镀后的锰铜箔上使用激光标刻技术“雕刻”出“所见即所得”的压力计,省略了传统工艺制作锰铜压力计所需要的多步工序,减少了制作工序中光、胶、有毒化学物质的污染。用硫化机热压封装锰铜压力计,不使用胶粘剂,提高了高冲击压力下绝缘层的绝缘性能,降低了电流旁路效应。试验检验结果表明,新工艺较传统工艺制作的压力计性能有一定的提高。
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