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针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF神经网络控制方法。RBF神经网络采用3-8-3结构。建模表明,此RBF网络数学模型具有良好的控制品质。
基于RBF网络的半导体扩散炉温度控制建模研究
【摘 要】
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针对半导体扩散炉温度控制问题,提出采用RBF神经网络控制方法。RBF神经网络采用3-8-3结构。建模表明,此RBF网络数学模型具有良好的控制品质。
【机 构】
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襄樊学院物理与电子信息技术系,华中科技大学控制科学与工程系
【出 处】
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微计算机信息
【发表日期】
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2008年22期
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